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采用冷冻干燥法制备具有低介电、定向双峰孔径分布的多孔Si 3N 4陶瓷,并利用Zeta电位、流变仪研究分散剂种类、含量及pH值对浆料的......
采用化学腐蚀法分别在单晶Si和多晶Si上制备了多孔Si.对室温下HF、HNO3的不同配比进行了实验比较,用显微镜和扫描电子显微镜(SEM)......