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多孔SiC薄膜相关论文
多孔β-SiC薄膜的蓝光发射
通过射频溅射的方法在单晶硅衬底上沉积了β-SiC薄膜,用HF酸(40%)和C2H5OH(99%)的混合溶液对β-SiC薄膜进行了电化学腐蚀处理,形成了多......
期刊
电化学腐蚀
多孔SiC薄膜
蓝光发射
PL
SEM
electrochemical anodization
porous β-SiC film
blue lum
低维碳化硅的VLS自组装生长研究
碳化硅(SiC)是IV-IV族二元化合物,是继第一代元素半导体(Si)和第二代化合物半导体(GaAs、InP、GaP等)材料之后的第三代半导体材料......
学位
气-液-固
化学气相沉积
SiC晶须
SiC微米柱
6H-SiC
多孔SiC薄膜
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