多孔硅薄膜相关论文
提出了一种基于多孔硅薄膜的光纤法布里珀罗(F-P)湿度传感器。多孔硅薄膜在一定相对湿度的环境下由于毛细冷凝作用，孔隙中的液态水......
自从19世纪90年代以来,微电子机械系统（MEMS）得到了迅速的发展。现在,MEMS已经成为信息领域最有前途的研究热点之一。可以认为,MEMS......
基于氢离子注入技术和典型电化学阳极浸蚀法制备了多孔硅有图（PS）薄膜。该薄膜的表面形态和特征采用扫描电子显微技术（SEM），X射线衍射（XR......
采用高灵敏度的micro-Raman系统研究了多孔硅(PS)在纵向的Raman效应,并研究了多孔硅尺寸对Raman谱的影响.实验中采用脉冲电化学腐......
基于多孔硅生长过程中阳极化电流,氢氟酸(HF)含量与多孔硅微结构的关系,提出一个改进的多孔硅生长模型,并进行了计算机模拟. 该模......
多孔硅薄膜是一种具有优良力热光电性能的纳米半导体材料,在MEMS工艺中具有广阔的应用前景,其力学性能的研究具有非常重要的意义。......
