渐变折射率薄膜又称非均匀薄膜（inhomogeneous films）,由于渐变折射率薄膜消除了材料间折射率突变导致界面的特性,在减反膜、分束镜......

利用直流磁控溅射技术，应用双靶轮流反应溅射工艺，制备了CrN／ZrN多层梯度薄膜．采用XRD，AES，XPS和纳米硬度仪等测试方法，对CrN／ZrN多层梯度......