多层膜光栅相关论文
多层膜光栅具有优异的衍射性能,能够成为同步辐射软X射线波段重要的色散元件。为了测量多层膜光栅的衍射效率,在上海同步辐射光源......
原子力显微镜是微纳米测量领域主要测量工具之一.由于原子力显微镜探针不可能无限尖锐,使得测量图像包含了一部分探针信息,这是其......
单级衍射光栅具有保留0级和共轭±1级的衍射特性,能够有效地抑制高阶衍射。这种产生纯净光谱的衍射特性在激光等离子体X射线诊断中......
该论文包括两个部分,分别是软X射线多层膜光栅的理论分析与多层膜闪耀光栅的制备和AFM检测,和TiN/TaN多层膜的表面/界面粗糙分析以......
用X射线运动学理论对软X射线多层膜光栅的衍射特性进行了研究.发现其衍射规律与多层膜的布拉格衍射和普通光栅衍射有本质的区别,可......
衍射效率的高低是衡量极紫外多层膜光栅的最重要指标。为实现高衍射效率,必须发展合适的多层膜沉积方法,以确保在镀膜过程中光栅衬......
从多层膜和多层膜光栅的衍射特性出发,得到了适用于软X射线波段的组合式多层膜-多层膜光栅单色器的工作原理和色散性质.如果多层膜......
极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采......
基于Si／SiO2材料对制备出名义节距为50nm的多层膜光栅，重点分析了多层膜光栅研磨抛光过程中的亚表面损伤和湿法刻蚀均匀性问题。并利......
真空紫外光源在天文物理、化学、生命科学、材料科学等领域有着广泛的应用。同步辐射是该波段的一种重要光源,具有光谱连续、亮度......
多层膜光栅是集衍射光栅的高光谱分辨率及多层膜的高反射率于一身的光学元件,在极紫外空间光谱探测、极紫外光刻等领域有着重要用......
在极紫外波段,任何材料都表现出极强的吸收特性,因此,采用多层膜实现高反射率是构建正入射式光学系统的唯一途径。本文总结了极紫......
