多层薄膜材料相关论文
多层薄膜广泛应用于集成电路芯片、各种微/纳传感器及微电子机械系统中。大量的研究表明,当这些材料的几何尺寸减小到亚微米甚至纳......
深度分析是指分析固体样品组成或杂质元素由表面到体内随深度变化的情况,能够表征多层样品界面中元素的化学分布,实现对元素组成的......
本文提出用准光腔测量薄膜材料复介电系数的新技术．根据双层介质的测量原理，把多层薄膜叠加起来并压上一块介电特性已知的平板样品以......
