多晶硅膜晶料相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

多晶硅膜晶料相关论文

多晶硅膜晶料取向控制及SiC衬底上Si多层结构的制备

为使SiC器件也能避免电磁干扰，拓展SiC材料在光电子器件领域的应用，开发可见光和近红外光光控SiC器件具有重要意义。本文利用低压化......

学位

低压化学气相淀积 Si多层结构光电特性多晶硅膜晶料取向控制 SiC衬底交替掺杂

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