多极磁场相关论文
为了满足HUST-UED分辨率对电子束品质的要求,束流传输系统以尽可能小的束团发射度、束斑尺寸和轨道偏差为目标进行设计。由于受电......
学位
微波电子回旋共振等离子体源具有电离度高、能连续工作、与反应气体兼容、自动微波调谐等优点,广泛地应用于表面处理、刻蚀、薄膜制......