考夫曼离子源相关论文
254nm的紫外光源广泛应用于环保、医学、化工、印刷、公安、考古等部门和领域。根据紫外光学系统的设计要求,在K9基底上研制了254n......
论述了考夫曼离子源中两种磁场结构的特点。在采用多极磁场的离子源中,由于放电室内低磁场区的存在,可获得均匀性好的离子束流。采......
离子源是离子束产生的关键部件,正交电磁场离子源是以霍尔电流为理论基础的一类低能离子源.本文综述了考夫曼离子源、霍尔离子源以......
综述了制备深亚微米/纳米CMOS器件的离子蚀刻新技术:考夫曼(Kaufman)离子铣蚀刻、氟基气体多晶硅蚀刻、氯基或溴基气体硅深蚀刻、......
应用电子枪蒸发纯Ge,考夫曼离子源辅助的方法在Ge基底上沉积了Ge1-xCx薄膜.制备过程中,Ge作为蒸发材料,CH4作为反应气体.通过改变C......
考夫曼离子源以结构简单、工作参数大范围可调等优点广泛应用于材料改性技术中。在实际生产中,考夫曼离子源存在着这样的问题：结构......
随着人类社会的高速发展已经导致了越来越严重的环境污染问题，其中生活废水排放量大、成分复杂、难降解物质多。传统的处理方法包括......
根据紫外光学系统的设计要求，在K9基底上研制了254nm高反射率、可见光谱区高透过率的低通滤光片。根据膜系设计理论，通过针法优化，获......
