多组合设备相关论文
半导体芯片制造处于半导体产业链的上游,具有重要的战略意义。由于大量的多组合设备（multi-cluster tools）在晶圆加工厂同时运行,时......
模块化组合设备（cluster tool）是晶圆制造过程中的一种典型的集成化设备,设备配置的复杂程度由晶圆加工工艺方案决定。针对这一特点,......
在半导体制造中,为了确保更高的质量和精度,具有单晶圆加工技术的组合设备被广泛应用于晶圆加工。一台典型的单组合设备是由以下部......
在半导体制造中,多组合设备被广泛应用于晶圆加工.对于缓冲区容量为2的单臂树形多组合设备,当机械手的移动时间远远小于晶圆加工时......
大规模半导体芯片制造中,晶圆尺寸越来越大而组合设备(cluster tools)能提供单片晶圆加工功能,组合设备作为高度自动化高效的集成......
