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多轮廓型腔相关论文
多轮廓型腔结构件磁控溅射类金刚石碳膜附着机理研究
多轮廓型腔结构件具有复杂的内腔,普通镀膜方法对工件内腔镀膜过程中存在膜基结合力差、靶材利用率低、薄膜厚度不均匀致密、内腔死......
期刊
多轮廓型腔
磁控溅射
薄膜均匀性
DLC薄膜
附着机理
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