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导热金刚石同大尺寸芯片的低温烧结银连接工艺
通过高导热银浆实现了连接大面积(>100 mm2)半导体硅片和金刚石的低温低压烧结技术.通过对金刚石表面镀覆金属薄膜,增强同烧结银界......
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低温烧结银
芯片散热
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