大数值孔径(NA)物镜相关硕士博士期刊学术论文

设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径（NA）物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数......