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该文研究制备大面积多孔SiO减反射薄膜,并采用各种测试手段对它们的结构与性能进行了表征与分析.使用射频溅射和溶胶-凝胶两种方法......
用锌铝合金靶在苏打玻璃上制备大面积AZO半导体透明薄膜,降低了靶材费用。实验中采用靶体旋转的直流磁控溅射工艺,提高了靶材利用率,......