富碳B4C涂层相关硕士博士期刊学术论文

对SiC纤维的CVD涂层工艺进行研究。实验发现采用BCl3,H2及CH4作为反应气体,采用与SiC纤维生产工艺相匹配的走丝速度并控制一定的工......