射频感应耦合等离子体相关论文
电子密度和电子温度是等离子体的两个重要的基本参量,对其的诊断是了解和控制反应等离子体的一个关键；通过采用朗缪双探针法对圆柱......
会议
随着科技的高速发展，引进了低温等离子体技术的微电子行业，近几年得以迅速崛起，高科技产业也得以迅速发展。为了使低温等离子体技术在......
学位
采用朗缪探针法对射频感应耦合等离子体进行了诊断分析,得到了圆柱形ICP放电装置的电子密度和电子温度.通过朗缪双探针研究了不同......
期刊
液态废弃物是生产生活过程中一种未得到有效处置且具有一定利用价值的资源,包括焦油组分中的芳香烃和核废料萃取液中的正十二烷等......
射频感应耦合等离子体源具有设备结构简单、在低气压下可以产生大面积均匀的高密度等离子体等优点，目前被广泛地应用在沉积薄膜、等......
采用朗格缪尔探针诊断装置测量电子能量和等离子体密度,利用发射光谱诊断装置测量发光强度,以判断实验腔室内的放电模式.结果表明:......
射频感应耦合等离子体能够在室温条件下选择活化并分解二氧化碳,本文通过调控等离子体放电条件(气体流量、放电频率等)获得了较高......
