低温等离子体技术在半导体工业中发挥着不可替代的作用,尤其是容性耦合等离子体（Capacitively Coupled Plasma,CCP）源已经广泛地应用......

射频感应耦合等离子体源具有设备结构简单、在低气压下可以产生大面积均匀的高密度等离子体等优点，目前被广泛地应用在沉积薄膜、等......

国际热核聚变实验堆计划(International Thermonuclear Experimental Reactor,即ITER计划)的目标是在磁约束装置托卡马克的腔室内......