工艺压力相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

工艺压力相关论文

工艺压力对质量流量计的影响

本文主要讨论被测介质压力的变化对质量流量计测量准确度的影响,及解决压力影响的方法....

期刊

科里奥利质量流量计测量准确度工艺压力相对误差工作原理

早期热壁卧式LPSIN工艺的优化改进

文章针对早期热壁卧式LPSIN系统所遇到的颗粒问题，详细阐述了颗粒问题产生的原因，包括DCS气体、工艺压力、反应生成物。针对这些颗粒......

期刊

LPSIN 颗粒工艺压力 DCS NH3 NH4CL LPSIN particle process pressure DCS NH3 NH4Cl

SiH2Cl2-NH3-N2体系LPCVD氮化硅薄膜生长工艺

以自行研制的LPCVD设备所进行的工艺试验为基础,简要介绍了Si3N4薄膜的制备方法和LPCVD法制备的Si3N4薄膜的特性以及低压化学气相......

期刊

氮化硅薄膜 LPCVD 工艺温度工艺压力气体流量均匀性

看过本文同时还关注