干涉椭偏术相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

干涉椭偏术相关论文

干涉椭偏测量系统中分光镜引入的非线性误差

研究了一种采用声光调制器实现的透射式外差干涉椭偏(IE)测量系统。实验测量了单层透明ITO膜, 膜厚和折射率测量误差分别达到4 nm......

期刊

测量干涉椭偏术分光镜非线性误差退偏效应方位角误差 measurement interferometric elliplsometry beam spl

寄生虚反射对外差干涉椭偏测量的影响

研究了一种采用横向塞曼激光器并且没有任何运动部件的外差干涉椭偏测量系统。由非理想的激光源、偏振分光镜等器件所产生的非线性......

期刊

光学测量干涉椭偏术非线性误差寄生虚反射薄膜测量

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