平坦化技术相关论文
柔性太阳能电池由于具有质量轻,易于运输、安装等优势,成为未来便携式电子产品、航空航天飞行器电源的最佳选择之一[1-2].钙钛矿电......
超光滑表面在光学、微电子、能源等各个领域都有着重要的应用,成为各国精密加工技术研究的重点。尤其在光学领域,超光滑表面成为降......
为促进海峡两岸在平坦化技术方面的交流与合作，由中国机械工程学会摩擦学分会微纳制造摩擦学专业委员会主办、河北工业大学承办的20......
多孔低介电常数的介质引入硅半导体器件给传统的化学机械抛光（CMP）技术带来了巨大的挑战，低k介质的脆弱性难以承受传统CMP技术所施加......
