平面度计量相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

平面度计量相关论文

可重构制造系统在相移干涉仪设计中的实现

为实现国家仪器专项中相移干涉仪的工程化及产业化，结合可重构制造系统设计的思想，研究了不同口径及不同测量需求的系列干涉主机的光......

期刊

相移干涉仪可重构制造系统光学模组平面度计量 phase shifting interferometryreconfigurable manufacturi

相移干涉仪仿真分析及模块化设计研究

相移干涉仪是基于四步移相法的光学测量仪器,随着几十年的发展,即将被列入新的平面度计量标准中,本文以相移干涉仪为基础,设计了针......

学位

移相干涉模块化平面度计量标准平晶研磨面平尺

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