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标准平晶相关论文
基于相移干涉仪平晶计量系统设计
对于平面度的计量,传统的方法是通过等倾干涉仪对标准平晶进行绝对检验,然后向长平晶、研磨面平尺传递;或通过等厚干涉仪向其他尺......
学位
平面度
量值传递
相移干涉
标准平晶
研磨面平尺
计量软件
相移干涉仪仿真分析及模块化设计研究
相移干涉仪是基于四步移相法的光学测量仪器,随着几十年的发展,即将被列入新的平面度计量标准中,本文以相移干涉仪为基础,设计了针......
学位
移相干涉
模块化
平面度计量
标准平晶
研磨面平尺
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