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应力失配相关论文

40nm节点低阻接触栓的电迁移可靠性优化

研究了40 nm工艺中低阻值接触栓的电迁移性能的提升。高性能芯片要求接触栓电阻尽可能小,而接触栓尺寸的减小使低电阻率钨成为必然......

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电迁移电迁移可靠性低阻低电阻率化学腐蚀界面结合力可靠性测试应力失配电化学腐蚀激活能

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