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SU-8胶深紫外光刻模拟
随着信息技术的飞速发展,微型化与集成化是器件发展的两大趋势,MEMS(微机电系统)是其中一个热点领域,采用SU-8胶的UV光刻技术是制造ME......
学位
SU-8胶
UV光刻
影像成型
误差分析
微加工技术
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