微加工技术相关论文
微流控技术是指在微通道内处理或操纵微小流体的技术。是一门涉及化学、流体物理、微电子、新材料、生物学和生物医学工程的新兴交......
由于在通信、安检等领域的广阔应用前景,聚焦于太赫兹信号的产生、探测、调制及传输的太赫兹技术在近些年发展迅速。滤波器在太赫......
Abrikosov磁通量子一般出现在第二类超导体的混合态中,以量子化的磁感线形式穿过超导体,周围由超导环流围绕。磁通对周围条件的敏......
针对复杂结构和图案的飞秒激光微加工,提出了一种基于BMP图像边缘跟踪的飞秒激光微加工方法.介绍了采用该方法实现复杂图形飞秒激......
利用自主研发设计的波长为355 nm的纳秒脉冲激光微加工系统,在硅(100)表面进行照射加工,形成了线槽宽度约25μm的微结构。利用荧光......
本文基于微细加工技术中的深反应离子刻蚀(DRIE)技术设计了一款中心频率在0.355THz的E面3d B四分支矩形波导定向耦合器。利用奇偶......
随着人们对自身健康关注度的增加,市场对实时监测人体状态的电子产品的需求正在持续增加,并推动着柔性电子技术的研究与应用的快速......
源于上个世纪中叶的以硅材料为核心的半导体微电子技术的出现已经彻底地改变了人们的生活方式。在上个世纪,半导体微电子技术始终......
恶性肿瘤严重危害人类健康。人体中肿瘤标志物的存在或量变可以提示肿瘤性质的变化,用以辅助肿瘤诊断、分类、预后判断及治疗指导......
随着对通信带宽要求的提高，急需发展一种全光网络.其中一个重要的部分就是目前开关的替代品，它必须能够将光信号转换成电信号，然后再......
人类对物质世界的认识一直孜孜不倦地朝着宏观和微观两个方向延伸：一方面，人们正利用火箭、飞船等航天器探索浩瀚的宇宙：另一方面，则又......
在微流控芯片中,微通道是进行微分析的重要保证,其成型质量直接影响芯片的分析性能.从加工机理、技术特点以及适用范围等方面对激......
摘 要：随着科学技术的日新月异，各种类型的传感器层出不穷，其中，高精度位移传感器是较为新颖的传感器，与普通传感器对比而言具有得天独......
微机电系统(简称MEMS)是指特征尺寸在1～1000μm之间、利用集成电路加工技术将机械和电子元件集成的器件。利用微加工技术制作的MEMS......
学位
随着MEMS微加工技术的发展,微悬臂梁作为一种高灵敏度的纳米传感元件广泛应用于物理化学生物等传感领域,如温度、湿度检测,生化分......
设计并研究了对光纤侧面加工的方法,使光纤侧面发光,从而获得了液晶显示器背光模组所需要的多发光点结构的激光光源。模拟分析了对......
随着现代生物技术的迅速发展，细胞注射作为基本的生物微操作技术之一，在转基因、克隆、人工受精、医药研究等方面发挥着重要作用。当......
光学光刻技术一直是微加工技术的主流技术之一,是近来世界各国研究的重点。本论文在纵观了光学光刻技术的国内外发展现状的基础上,......
新兴的光纤传感器代表了新一代传感器发展的趋势,具有结构简单、体积小、重量轻、不受电磁干扰、稳定性好、精度高、便于组网等显......
微纳米科学技术作为二十一世纪的关键高新技术之一，将导致人类认识和改造世界能力的重大突破。而具有强烈交叉学科色彩的微系统（或微......
微悬臂是一端固定于支点另一端悬空的微机械结构。它作为高灵敏度传感器的应用,最早可追述为原子力显微镜的扫描探针。随后由于其......
当前，许多尖端科技的突破性发展越来越依赖于高效冷却技术，它们要求冷却技术能有效驱散小面积区域产生的大量热量。具有内部强化传热......
近年来，飞秒激光因其峰值强度高、亚微米量级的加工精度等特点，在纳米结构制备和纳米材料加工方面占有重要地位。但是在大多数的飞秒......
近几十年来,光纤传感器由于其小型化、高精度和易集成等优势受到越来越多的关注。尤其是在光纤端面上采用微加工技术制备的光纤法......
飞秒激光的脉冲宽度在3.4fs～150fs之间，脉冲的峰值功率可达1020W/cm2。由于具有极短的脉冲宽度和极高的峰值功率，使飞秒激光加工技术......
微胶囊电泳显示是一种新型显示技术，彩色显示实现技术是这种新型显示器件技术需要解决的关键技术。本论文研究工作内容是：以红、绿、......
对采用微加工技术制造冲击片雷管的方法进行了研究,首先采用磁控溅射、光刻和湿法刻蚀在玻璃基片上制造桥箔,黏贴聚酰亚胺飞片,然......
...
随着无线通信中语音业务、窄带和宽带数据业务、卫星广播、卫星定位的兴起,移动通信产品市场需求的日益膨胀,只有那些体积小,携带......
微型机器人应用于临床医学的诊疗,不仅提高了诊断的可靠性、真实性,而且由于微机电系统本身的微小尺寸、高度智能,极大地减少了病......
聚焦电子束离子束双束系统由于其电子束与离子束同存于一个腔体内,可以使用电子束扫描直接了解欲加工样品的形貌并确定加工位置,转......
激光微加工技术是准分子激光技术的一个新的应用领域。准分子激光波长处于紫外和深紫外波段,具有单光子能量大、波长短等特点。相......
生物光学传感器是一种对生物物质敏感并将其浓度转换为光信号,再由光电器件转换成电信号进行检测的仪器。由于随着微加工技术和纳......
本文介绍一种采用平面线圈结构的微型电磁继电器的制造工艺和理论分析.这种继电器的大小大约是4 mm×4 mm×0.5 mm,工艺比......
简要介绍了基于磁控射频溅射技术的Si3N4薄膜沉积技术及Si3N4薄膜基于剥离(lift-off)技术的微加工技术。实验结果表明该技术适用于......
介绍了硅尖的制备及其在传感器技术中的应用.硅尖的制备方法可与现代IC工艺兼容且易削尖,故比其它材料微尖更实用.硅尖的应用随着......
微加工技术正被人们用来加工满足光通信系统要求的各类器件.在采用自由空间光学原理的器件中,针对交换、滤波和可调式衰减等应用的......
20世纪以来的科技史上有两项影响深远的发明，一是微电子芯片，另一项就是生物芯片，生物芯片的出现是近年来高新技术领域中极具时代特征......
1 引言对于自身具有调焦功能的光学元件,人们曾做过大量的研究.譬如无需随着机械运动进行调焦的光学元件,有利用液晶折射率变化的......
本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)中的微加工技术,主要是硅微机械加工技术和11-GA技术,并介绍了微光机电系统在信息与通讯、汽车......
随着计算机运算速度的提高及MEMS结构变得日渐复杂，元胞自动机（CA）方法逐渐在MEMSCAD方面显出优势。针对硅的各向异性腐蚀模拟，首先建......
讨论了应用于引信中的高g微阵列式加速度传感器的设计理论、布阵方法和微加工工艺。讨论过程中,针对测量不同的加速度值,利用了不......
PDMS(Polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微小流路的微加工技术,由于具有加工周期短,加工成本低,可进行批量生产,易获得高深宽......
生物芯片是20世纪90年代初发展起来的一种全新的微量分析技术。它综合了分子生物技术、微加工技术、免疫学、化学、物理、计算机等......
一种新型的，以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器。此种传感器利用了新型的电场感应模式，采用微加工技术制造，使......
