个人电脑研发过程中，经常会遇到主板区域发出“滋滋滋”的恼人的电噪音。电噪音的主要来源之一是电感的振动。当电感中有大电流或者......

该论文的主要工作包括以下三方面内容:1.综述微系统技术,重点论述微系统技术中的LIGA技术和用LIGA技术制作微型加速度传感器的工艺......

我国是世界上遭受地震灾害最严重的国家之一。为了减轻工程结构造成的地震灾害，必须科学地了解强烈地震动的特征，强震观测是科学了解......

加速度传感器可以测量物体运动的加速度，在惯性导航、振动以及倾角测量等应用中具有广泛的需求。微机电系统与光学检测技术的相结合......

用广义板理论和有限元平板壳元素与三维实体元素的组成方法，建立了微型加速度传感器整体的有限元分析模型。对模型进行了静态和动态......

近几年来,从半导体集成电路（IC）技术发展而来的微机电系统（microelectromechnicalsystem,MEMS）技术日渐成熟。微型传感器是目前最为成......

用模态分析的理论和方法对悬臂式微型加速度传感器进行了动态特性分析,给出了满足结构强度和刚度条件的工作梁表面动应力的分布规......