微型气浮轴承相关论文
建立了微型气浮轴承系统的运动模型,分析了低转速下轴承的稳定性并对转子的动态响应进行了数值模拟.根据线形理论得到系统的线形刚......
考虑微型气浮轴承的尺寸特征，内部气流不再满足连续流的假设，根据Knudsen数可确定内部气流为滑移流．分别利用一阶速度滑移模型和二阶......
根据气膜厚度的Knudsen数，确定滑移流为微型气浮轴承内部的润滑机制。引入二阶滑移流边界条件对连续流的状态方程进行修改，得到滑移......
1987年,加州大学伯克利分校研制成功第一台静电微马达,标志着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)时代的到来。MEM......
