考虑微型气浮轴承的尺寸特征，内部气流不再满足连续流的假设，根据Knudsen数可确定内部气流为滑移流．分别利用一阶速度滑移模型和二阶......

1987年,加州大学伯克利分校研制成功第一台静电微马达,标志着微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)时代的到来。MEM......

考虑到微型气浮轴承的尺寸特征,选择二阶滑移流模型对Reynold方程进行修正。建立了微型转子-轴承系统的运动模型,利用线形轴承力得......