微定位系统相关论文
原子力显微镜是微显微成像和微纳米操控的主要设备，目前商用原子力显微镜多采用压电陶瓷驱动器作为三自由度微定位器。但是压电陶瓷......
并联六自由度平台机构具有结构刚度大、承载能力强、位置精度高、响应快等结构优点,在位置精度要求较高的诸如微型机器人、微机械......
超精密宏微复合驱动伺服将传统意义上的刚性驱动（齿轮、丝杠、连杆等）与柔顺驱动相结合，实现宏微复合驱动，可以较好地兼顾大行程和高精......
该文提出了粗微结合的双层工作台的微定位系统.粗动工作台可以达到大行程,用于宏观调整;微动工作台用来获得高分辨率,实现超微定位......
在分析压电陶瓷特性基础上,建立了压电陶瓷微定位系统的模型,并将逻辑规则控制器应用于其控制系统中.逻辑规则控制器将相平面分为9......
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针对压电陶瓷等非线性系统,建立压电陶瓷微精密位移系统模型,并将模糊控制器替换传统的比例、积分和微分（PID）控制器,实现对PID参数......
针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题,在刻划机已有的状态和结构下,设计了微定位系统的控制器。首先,介......
压电陶瓷驱动的微定位系统在扫描探针显微镜样品扫描台、纳米压印光刻、微纳操作、精密电子制造、精密加工、精密测量等许多领域应......
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清......
传统的微定位平台机构比如滑动导轨、滚珠丝杠、滚动导轨等等具有机构复杂、惯性大、响应速度慢以及稳定性差等缺点而不能满足微定......
在人类探究微观世界的过程中,微定位技术逐步发展起来。原子力显微镜作为一种微显微成像与微纳米操控的设备,其原子级的分辨率使得......
