微小等离子体相关论文
基于扫描探针的微细加工技术作为一种无掩模的扫描微细加工技术，因其所需设备简单和加工精度高达纳米量级，目前已在纳米机械加工等诸......
采用二维流体模型对扫描刻蚀加工中的微小等离子体发生器的刻蚀机理进行了数值仿真研究。该微小等离子体发生器为微空心阴极放电器......
