微机械制造相关论文
经过十几年的努力,LIGA技术日已成熟,在很多领域内得到了应用.LIGA技术以大高宽比结构和加工厚度著称,结构高宽比可达100以上,结构......
该文叙述了适用于微机械制造的一种新的工艺－－ＬＩＧＡ工艺的技术组成。着重介绍了ＬＩＧＡ工艺中Ｘ射线光刻掩模的制作步骤和方法。......
利用压电陶瓷 PZT的正反压电效应 ,将 PZT薄膜同时作为驱动及传感材料 ,设计并制造了两种新颖的以 IC兼容技术制作在硅片上的压电......
利用压电陶瓷的特性 ,采用IC兼容的技术 ,设计并制造了一种新颖的压电薄膜微型陀螺 .在Pt/Ti/SiO2 /Si基底上以sol gel技术铺设了......
随着微机电系统的发展,微机械零件的材料应用领域不断扩大,结构形状也从二维、准三维提高到三维复杂结构,相应的微机械制造技术也......
随着计算机技术、CAM技术和新材料技术等技术的发展,快速成型技术也被引入到集成制造及微机械制造中,从而为企业带来了更多的经济......
随着社会经济的不断发展，国防领域、微电子工业领域、生物工程以及太空机械领域也是步入了空前的发展阶段，对设备的的精密多维细微零......
信息时代的到来对推动机械制造、集成制造等领域的发展起到至关重要的作用。以其中快速成型技术为例,其本身将现代较多先进学科技......
作为新型制造技术,快速成型技术能够在短时间内完成原型制造,并且能够实现复杂工件的快速制造,所以具有周期短和成本低等诸多应用......
本文以精密超精密加工技术的特点分析为主要切入点,为微型制造系统和在MEMS系统中的应用两方面对微机械制造加以介绍,重点探讨微机......
介绍了微机械当前的研究现状和订物微机械制造技术，重点讨论了微机械在航空航天领域的应用前景，最后提出了我国在此领域应采取的相应......
随着科技的进步,快速成型技术日趋完善和成熟,在集成制造与微机械制造领域得到了大量的应用。这极大缩短了产品生长周期,节省了研......
我国在近几年的制造行业发展中,集成制造及微机械制造,是非常核心的组成部分,而且能够产生的影响力较高。从客观的角度来分析,集成......
介绍了精密和超精密加工技术各主要领域国内外的最新进展。提出应重视精密加工的研究和加大投入,加速提高我国的精密和超精密加工......
最近几年,我国的微机电系统和机械零件制造业在社会经济发展的影响下,呈现出突飞猛进的发展势头。精密超精密加工技术也对我国的航......
快速成型技术是集光学、电子、材料、计算机等多学科的高新技术。通过简要介绍快速成型技术在国内外发展的现状,并针对国内在此领......
随着我国社会快速发展,越来越多行业应用微细切削加工与微机械制造技术;特别是近年来,我国医学、农业等行业都广泛应用了微细切削......
