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微机械移相器相关论文

低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器

通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容,外加电压驱动改变电容值,可实现级联式MEMS移相器.本文讨论了优化相移特性对共平面波......

期刊

微机械移相器高阻硅驱动电压振动寿命 MEMS 共平面波导 MEMS phase shifter high resistivity silicon pull

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