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微机电系统(MEMS)谐振器相关论文

I^2形原子力显微镜探针设计优化

针对基于微机电系统(MEMS)技术的I2形原子力显微镜(AFM)探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I^2形探针的压阻检测设计......

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原子力显微镜微机电系统(MEMS)谐振器热执行压阻检测微纳加工 atomic force microscope(AFM) MEMS resonator

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