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变幅杆式压电作动器及微滑台驱动研究
压电作动器具有结构紧凑、响应快、能量密度大、免润滑等优点,被广泛用于航天、精仪、医疗等领域,迄今已有上百种结构问世。本文针......
学位
变幅杆
压电作动器
螺旋驱动
有限元法
微滑台
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