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微电热驱动器相关论文
具有三层结构的SU-8胶V形微电热驱动器
为解决SU-8胶微电热驱动器在工作过程中存在平面外运动的问题,提出了一种具有铜-SU-8胶-铜三层对称结构的新型SU-8胶V形微电热驱动......
期刊
SU-8胶
微电热驱动器
微夹钳
结构设计
SU-8
electrothermal micro-actuator ~ microgripper
struc
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