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微米针管相关论文

用（110）硅面各向异性腐蚀的凸角结构制作微米针管

描述了一种用(110)晶面硅片制造微米针管的新方法.利用硅晶面在各向异性腐蚀中出现的凸角结构形成针管的三维构造,针管内径约10μm......

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微米针管 MEMS 各向异性腐蚀凸角结构 (110)晶面 microneedleMEMSwet anisotropic etchingconvex corne

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