作为MEMS/NEMS器件的典型代表,微纳机械式谐振器（Micro/Nano-mechanical resonator）是一种实现机械能与磁能、电能、光能等能量转换......

随着微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)的快速发展,这些技术已经日趋成熟并逐步投入实际应用。现如今,许多MEMS和NEMS器件已经在......

静电驱动是一种传统的谐振器驱动方式，其较好的稳定性和灵敏度使得其广泛应用于各类谐振器中。近年来，光梯度力作为纳谐振器的一种新......