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微细流路模压成形用碳化钨模具飞秒激光加工工艺研究
目的解决微细流路芯片中微细流路制备时,传统加工工艺存在的效率低下等问题。方法采用飞秒激光加工碳化钨模具,进行工艺研究。对扫......
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