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微结构释放相关论文
微结构湿法腐蚀和释放技术研究
湿法腐蚀是微机械加工技术中的关键工艺之一,具有腐蚀速率快、选择性和均匀性好、设备简单、可批量生产等优点,因此在微结构的释放......
学位
湿法腐蚀
微结构释放
硅的各向异性腐蚀
BHF-Gl溶液
浓硼自停止腐蚀
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