微继电器相关论文
摘 要：使用微继电器代替原机械琴键开关与音周闸对音频信号的控制，采用单片机作为控制芯片，通过RS-232接口与电脑进行数据交换，使用编......
近年来，随着微机电系统技术的不断发展，微继电器在自动控制、通讯系统、遥感探测等方面具有广泛的应用。MEMS继电器不仅克服了传统继......
对静电驱动微继电器、热驱动微继电器和电磁驱动微继电器的驱动原理和特点分别进行了分析，介绍了国内外具有代表性的几种微继电器的......
介绍了一种MEMS电磁驱动微继电器,这种继电器体积小、易于集成。它采用双层1mm×1mm平面线圈和吸合式坡莫合金悬臂梁结构,层间用聚......
期刊
近年来,随着微机电系统技术的不断发展,微继电器在自动控制、通讯系统、遥感探测等方面具有广泛的应用。MEMS继电器不仅克服了传统......
通讯等应用领域微型化的需求和微机械加工技术的进步推动了基于微机电系统(MEMS)技术的微继电器的快速发展。介绍了国外MEMS微继电......
期刊
设计和制备了一种新型的电热驱动微电子机械（MEMS）继电器，并进行了性能测试。整个工艺采用非硅MEMS工艺，利用Cu作为牺牲层材料，Ni作为微......
