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微表面形貌相关论文
用于微表面形貌检测的纳米级白光相移干涉研究及仪器化
论文全面描述了微表面形貌测量的各种方法,总结了干涉中的相位测量方法,分析了当前表面形貌测量的研究热点和方向。从白光相移显微......
学位
微表面形貌
白光相移干涉
Mirau干涉
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压电陶瓷传感器PZT
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