白光相移干涉相关论文
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表面粗糙度对零件的耐磨性、接触刚度、耐腐蚀性、抗疲能力、密封性、两工件装配时的配合性等物理特性有着决定性的影响,而零件的......
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论文全面描述了微表面形貌测量的各种方法,总结了干涉中的相位测量方法,分析了当前表面形貌测量的研究热点和方向。从白光相移显微......