微运动平台相关论文
宏微复合平台常应用于大行程运动和高精度定位的场合。基于对宏微复合驱动技术的的分析及研究，提出了一种音圈电机与压电陶瓷复合驱......
随着科学技术的发展,人们对手机、电脑等电子设备功能多样化、微型轻便化程度的要求越来越高,这就要求芯片的高度集成化。芯片倒装......
