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形状记忆合金薄膜微驱动器过程准可控研究
研究了形状记忆合金(SMA)驱动器的过程不可控及过程准可控输出特性,给出了此类驱动器实现过程准可控的设计思想——单元互联,及其......
期刊
形状记忆合金薄膜
微夹持器
过程不可控
过程准可控
单元互联
微驱动材料
ControllabilityProcess controlShape memory
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