形状记忆合金薄膜相关论文
NiTi/Si复合膜微泵是由一个可形变的腔体和两个硅薄片单向阀组成.微泵采用硅微机机械技术和金硅共晶键合技术制备.其外形尺寸为6mm......
会议
采用磁控溅射制备Ti70-xTa15Zr15Fex(x=0.3、0.6、1.0,原子分数,％)合金薄膜,通过XRD、TEM、弯曲法和动态热机械分析研究Fe元素含量......
采用射频溅射法在单晶硅基底上沉积Ni-Mn-Ga磁性形状记忆合金薄膜,并将制备薄膜在不同的温度下进行真空热处理.研究了不同溅射Ar气......
NiTi/Si复合膜微泵是由一个可形变的腔体和两个硅薄片单向阀组成.微泵采用硅微机机械技术和金硅共晶键合技术制备.其外形尺寸为6mm......
会议
形状记忆合金是一种在设定温度下具有形状记忆功能同时具有超弹性功能的新型功能材料.被誉为“智能合金”“跨世纪的新材料”.一般......
本文采用射频磁控溅射制备TiNiCu形状记忆合金薄膜,分析了Cu含量和溅射工艺参数对薄膜相变温度和显微组织的影响.结果表明,适当提......
该文提出了基于形状记忆合金的过程不可控及过程准可控概念，以及单元互联这一实现形状记忆合金执行器过程准可控的设计思想，并基于单......
用多靶磁控溅射沉积了ＮｉＴｉ记忆合金薄膜，并实现成分的调节，实验用Ｘ－ｒａｙ衍射法测定了ＮｉＴｉ薄膜（含５０．ｌａｔ℅Ｎｉ，接近理想成分５０．０ａｔ℅Ｎｉ），得到马氏体相结构的退火温度和时间......
该工作利用磁控溅射方法对可从衬底上分离的NiTi形状记忆合金薄膜的制备、微结构、结构和相变特性进行了深入系统的研究.结果表明......
针对机床导轨类曲面,通过表面镀制TiNi合金薄膜来提高其耐磨性。TiNi晶态薄膜在干摩擦下虽具有优异的耐磨性,有效降低粘着磨损,但T......
形状记忆合金 /硅复合膜驱动的微泵由一个可形变腔体和两个单向硅薄片阀组成。微驱动膜利用NiTi形状记忆合金薄膜相变时具有大的可......
期刊
NiNi形状记忆合金薄膜是从块体状形状记忆合金中发展起来的一种新型功能薄膜材料 ,它具有不完全类同于块体状形状记忆合金的相变行......
形状记忆合金（SMA）薄膜因其特有的形状记忆合金效应，超弹性行为以及薄膜材料所特有的优越性能，而在微机电系统中的微驱动器和微传感器......
Ni—Ti形状记忆合金(SMA)薄膜由于其尺寸小输出功大，是一种具有诱人前景的微机械材料。主要介绍了Ni—Ti薄膜的马氏体相变及时效稳......
回顾了ＮｉＴｉ形状记忆合金薄膜的研究现状。总结了形状记忆合金薄膜的结构及其变化过程、性能特点及其变化规律。......
美国伊利诺大学的研究人员新近用厚度200nm、宽50～60μm、长300～360μm的铝膜（晶粒平均粒径65nm）与晶粒平均粒径为50nm的金膜制备成成......
研究了形状记忆合金(SMA)驱动器的过程不可控及过程准可控输出特性,给出了此类驱动器实现过程准可控的设计思想——单元互联,及其......
基于文献中报道的实验研究结果,利用Liang-Rogers模型对NiTi记忆合金薄膜等温单轴拉伸时的应力-应变曲线进行了模拟,并讨论了薄膜......
本文采用示差扫描量热仪（DSC）系统、X射线衍射仪（XRD）、透射电镜（TEM）等测试手段系统分析了TiNi（1-x）Cux（X=0、5、10、14、18at.％）系合金在不......
Ni-Mn-Ga磁性形状记忆合金可在外磁场作用下产生宏观可逆应变,并具有高的响应频率,作为新型智能驱动材料在航天器中具有广阔的应用......
总结了近年来微机电系统(MEMS)领域中,Ti-Ni形状记忆合金(SMA)薄膜的制备与微加工工艺、形状记忆性能、加工性能、防腐耐磨性能及......
综述了TiNi基形状记忆合金最近的基础研究和应用研究进展。对TiNi基形状记忆合金的马氏体相变以及TiNi基高温形状记忆合金、TiNi基......
TiNi形状记忆合金薄膜被认为是目前微机械领域中较有发展前景的一种大应力、应变和高单位功密度的微驱动器材料，对它的研究和开发必......
NiTi基形状记忆合金由于具有出色的形状记忆效应(SME)和超弹性(SE)效应而倍受人们关注。因其具有可恢复应变大、输出应力高、驱动......
