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恒压应力相关论文
高K栅介质可靠性研究
当 CMOS 技术进入到 45nm 技术代以后,将需要利用高 K 栅介质材料替代传统的 SiO2或 SiNxOy栅介质以克服其不可接受的高的栅泄漏电......
学位
高 K 栅介质
时变击穿
应力感应漏电流
恒压应力
击穿机制
载流子分离
电荷俘获
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