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日前我室为制作大口径(400 mm×400 mm)衍射光学元件需要,成功研制了一台KZ-400离子束刻蚀装置.它是基于物理溅射效应,将基底匀......
本文对旋转伞末敏子弹的扫描运动及相关过程进行了分析研究,通过研究旋转伞导旋机理,提出了提高导旋力矩和转速落速比的技术途径。......
传统工件台控制需预先建立不同位置的补偿参数表,调试过程繁琐且适应性不强。针对这些问题,在某工件台改造实验中,使用基于带遗忘......
工业CT(Computed Tomography)技术是世界上公认的最佳无损检测手段之一,目前在国内的应用越来越广泛,并在一些新技术领域发挥着愈......
针对目前工业CT扫描方式多、速度快,对运动位置与数据采集同步控制精度要求高的特点,提出了一种用高精度多轴数控系统来实现工业CT......
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为提高步进扫描式光刻机的生产效率,提出了一种具有时间最优和冲击最小的5阶S曲线。在最大扫描速度恒定的前提下,以最小时间和冲击......
研究一种步进扫描投影光刻机工作台扫描运动超精密轨迹规划算法及误差控制策略。在分析三阶扫描运动与步进运动轨迹规划异同点的基......