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扭转微镜系统相关论文
一种微机电非线性耦合系统奇点稳定性研究
工程中许多微机电系统都采用电容驱动原理,这类结构实际上存在着强烈的静电和机械两个物理场的非线性耦合,因此系统的动态特性比较......
期刊
吸合电压
奇点稳定性
鞍结分叉
非线性耦合
微机电系统
电容驱动
扭转微镜系统
Electromechanical nonlinear coupling
Pu
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