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扰动补偿的同步控制相关论文
双工件台换台实现过程中宏动系统的扰动抑制研究
双工件台换台是光刻机研制的核心,也是完成后续扫描光刻任务的前提,换台过程要求高速度和高精度,因此扰动的存在极易导致换台的失......
学位
双工件台换台
扰动抑制
扰动观测器
扰动补偿的同步控制
负载扰动动态补偿
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