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抗粘合薄膜相关论文

影响微电子机械系统成品率和可靠性的粘合力和摩擦力

文章评述了影响微电子机械系统（MEMS）成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸（HF）腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时，由于......

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微电子机构系统粘合力摩擦力抗粘合薄膜耐磨损薄膜成品率可靠性微电子器件微机械器件 micro electro mechanical systems

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