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日本国家高级工业科学与技术研究所的一个研究组正在利用快速移动的细菌来驱动微转子马达,这是第一个在无机材料中加进了细菌的微......
研究了微陀螺的电容变化率为10-7～10-8时的微弱输出信号的检测技术,这是微机械器件研制中具有普遍性的技术难点。在研究检测微小电......
文章评述了影响微电子机械系统（MEMS）成品率和可靠性的粘合力和摩擦力问题。在用氢氟酸（HF）腐蚀牺牲层、释放多晶Si微结构、干燥时，由于......
系统分析了微机电系统的概念、特点及国内外先进的微机电系统的典型器件和典型系统,微机电有别于其它制造业的独特的加工工艺,以及......
本文从微电子机械系统（MEMS）的基本加工技术和MEMS器件等方面介绍了MEMS的发展过程;综述了国内外MEMS加工技术，特别是新型MEMS器件与......
